一种钛硅合金靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511236368.2

申请日：

2025-09-01

公开(公告)号：

CN121082887A

公开(公告)日：

2025-12-09

发明(设计)人：

边逸军姚力军任壮吴东青

申请人：

宁波江丰电子材料股份有限公司

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路

IPC主分类号：

B22F3/04

IPC分类号：

B22F3/105 C23C14/34 C22C14/00

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

牛海燕

法律状态：

公开

国省代码：

河北省衡水市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-09	公开	公开
2025-12-26	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B22F 3/04申请日:20250901

共 50 条

[1]

钛铝硅合金靶材的制备方法 [P].

周武平 ;

姚伟 ;

赵雷 ;

郝权 ;

张路长 ;

孙继洲 .

中国专利 :CN104416157A ,2015-03-18

[2]

一种钛硅合金靶材及其制造方法 [P].

张凤戈 ;

李建奎 ;

魏铁峰 ;

张欠男 ;

缪磊 ;

张学华 ;

岳万祥 .

中国专利 :CN111136265B ,2020-05-12

[3]

一种钛硅合金靶材的低成本制备方法 [P].

毛建伟 ;

吕维洁 ;

韩远飞 ;

黄光法 .

中国专利 :CN110257783B ,2019-09-20

[4]

一种钛硅合金靶材的制造方法 [P].

马步洋 ;

王彬 .

中国专利 :CN102699325A ,2012-10-03

[5]

一种钛硅钼合金靶材及其制备方法 [P].

姜海 ;

唐培新 ;

吕晓明 ;

姜慧 ;

王瑞刚 ;

许凤志 .

中国专利 :CN111304610A ,2020-06-19

[6]

一种铝钛硅合金靶材及其制备方法 [P].

余鹏 .

中国专利 :CN102321833A ,2012-01-18

[7]

一种抑制陶瓷相生成的钛硅阴极靶材制备方法 [P].

李其仲 ;

高望舒 ;

涂溶 ;

章嵩 .

中国专利 :CN120794639A ,2025-10-17

[8]

一种钛硅靶材的制备方法 [P].

朱伟 .

中国专利 :CN115679282A ,2023-02-03

[9]

铬铝硅合金靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

唐培新 ;

姚伟 ;

张路长 ;

姜海 ;

赵雷 ;

高明 .

中国专利 :CN104419859A ,2015-03-18

[10]

一种多主元合金靶材及其制备方法 [P].

马明星 ;

聂绍乾 ;

王志新 ;

张志汉 .

中国专利 :CN107326333A ,2017-11-07

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