一种钛硅靶材的制备方法

被引：0

申请号：

CN202211359968.4

申请日：

2022-11-02

公开(公告)号：

CN115679282A

公开(公告)日：

2023-02-03

发明(设计)人：

朱伟

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市吴江汾湖经济开发区汾杨路东侧

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

B22F314 B22F904

代理机构：

苏州企知鹰知识产权代理事务所(普通合伙) 32420

代理人：

薛芳芳

法律状态：

公开

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-02-03	公开	公开

共 50 条

[1]

一种钛硅合金靶材的制备方法 [P].

边逸军 ;

姚力军 ;

任壮 ;

吴东青 .

中国专利 :CN121082887A ,2025-12-09

[2]

钛铝硅合金靶材的制备方法 [P].

周武平 ;

姚伟 ;

赵雷 ;

郝权 ;

张路长 ;

孙继洲 .

中国专利 :CN104416157A ,2015-03-18

[3]

一种钛硅合金靶材的低成本制备方法 [P].

毛建伟 ;

吕维洁 ;

韩远飞 ;

黄光法 .

中国专利 :CN110257783B ,2019-09-20

[4]

一种钛硅钼合金靶材及其制备方法 [P].

姜海 ;

唐培新 ;

吕晓明 ;

姜慧 ;

王瑞刚 ;

许凤志 .

中国专利 :CN111304610A ,2020-06-19

[5]

一种钛硅合金靶材的制造方法 [P].

马步洋 ;

王彬 .

中国专利 :CN102699325A ,2012-10-03

[6]

一种碳硅陶瓷靶材的制备方法 [P].

白雪 ;

刘宇阳 ;

王星奇 ;

杨磊 ;

桂涛 ;

王星明 ;

储茂友 ;

韩沧 .

中国专利 :CN111320478A ,2020-06-23

[7]

一种钛铝镁硅合金靶材及其制备方法 [P].

吕宏 ;

张超 ;

谢元锋 ;

夏扬 .

中国专利 :CN112779506A ,2021-05-11

[8]

一种制备硅质靶材的方法 [P].

彭迟香 .

中国专利 :CN104451564B ,2015-03-25

[9]

一种钨硅靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

杨赛赛 ;

吴东青 ;

滕晓朋 .

中国专利 :CN118847993A ,2024-10-29

[10]

一种硅基薄膜电阻用陶瓷金属靶材的制备方法 [P].

朱伟 .

中国专利 :CN118639192A ,2024-09-13

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