一种钛硅合金靶材的低成本制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201910568170.2
申请日
2019-06-27
公开(公告)号
CN110257783B
公开(公告)日
2019-09-20
发明(设计)人
毛建伟 吕维洁 韩远飞 黄光法
申请人
申请人地址
200240 上海市闵行区东川路800号
IPC主分类号
C23C1434
IPC分类号
C22C102 C22C1400
代理机构
上海汉声知识产权代理有限公司 31236
代理人
庄文莉
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种钛硅合金靶材的制备方法 [P]. 
边逸军 ;
姚力军 ;
任壮 ;
吴东青 .
中国专利 :CN121082887A ,2025-12-09
[2]
钛铝硅合金靶材的制备方法 [P]. 
周武平 ;
姚伟 ;
赵雷 ;
郝权 ;
张路长 ;
孙继洲 .
中国专利 :CN104416157A ,2015-03-18
[3]
一种钛硅合金靶材的制造方法 [P]. 
马步洋 ;
王彬 .
中国专利 :CN102699325A ,2012-10-03
[4]
一种铝钛硅合金靶材及其制备方法 [P]. 
余鹏 .
中国专利 :CN102321833A ,2012-01-18
[5]
一种钛硅合金靶材及其制造方法 [P]. 
张凤戈 ;
李建奎 ;
魏铁峰 ;
张欠男 ;
缪磊 ;
张学华 ;
岳万祥 .
中国专利 :CN111136265B ,2020-05-12
[6]
一种钛硅钼合金靶材及其制备方法 [P]. 
姜海 ;
唐培新 ;
吕晓明 ;
姜慧 ;
王瑞刚 ;
许凤志 .
中国专利 :CN111304610A ,2020-06-19
[7]
一种钛硅靶材的制备方法 [P]. 
朱伟 .
中国专利 :CN115679282A ,2023-02-03
[8]
一种低成本高强钛锆合金丝材及其制备方法 [P]. 
毛耀宗 ;
张亚辉 ;
武玉喜 ;
王振洲 ;
郭晓鑫 ;
杜光豪 ;
杜宜彪 .
中国专利 :CN120940428A ,2025-11-14
[9]
钛硅靶材锭坯的制造方法 [P]. 
潘珏斐 ;
张思 ;
吕维洁 ;
黄光法 ;
来晓君 ;
王洪 ;
龙为勤 .
中国专利 :CN110029237A ,2019-07-19
[10]
一种钛铝合金靶材及其制备方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
陈石 ;
廖培君 ;
周友平 .
中国专利 :CN117265489B ,2025-06-03