一种半导体零件脱脂清洗设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202520232738.4

申请日：

2025-02-14

公开(公告)号：

CN223629152U

公开(公告)日：

2025-12-05

发明(设计)人：

邵佳李欢

申请人：

靖江佳晟真空技术有限公司

申请人地址：

214500 江苏省泰州市靖江经济技术开发区新兴路9号

IPC主分类号：

B08B3/12

IPC分类号：

B08B3/10 B08B13/00

代理机构：

泰州市行致远专利代理事务所(普通合伙) 32790

代理人：

卞勇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种半导体零件清洗装置 [P].

张涛 ;

曲海燕 ;

刘泽华 .

中国专利 :CN222985117U ,2025-06-17

[2]

一种具有烘干功能的半导体设备零件清洗台 [P].

王灿 .

中国专利 :CN221581321U ,2024-08-23

[3]

一种半导体零件清洗装置 [P].

张跃宏 .

中国专利 :CN207381373U ,2018-05-18

[4]

一种半导体零件清洗装置 [P].

张跃宏 .

中国专利 :CN107634022A ,2018-01-26

[5]

一种半导体零件清洗台 [P].

周银龙 ;

刘文超 .

中国专利 :CN222197955U ,2024-12-20

[6]

半导体设备零件清洗台 [P].

李澄盛 .

中国专利 :CN205110309U ,2016-03-30

[7]

一种零件油渍清洗设备 [P].

谢恩 .

中国专利 :CN214184361U ,2021-09-14

[8]

一种半导体设备零件清洗台 [P].

杨志勇 ;

单庆喜 ;

刘芳亮 ;

田飞 .

中国专利 :CN213378155U ,2021-06-08

[9]

一种半导体设备零件清洗台 [P].

陆灵伶 .

中国专利 :CN220942106U ,2024-05-14

[10]

一种半导体设备零件清洗台 [P].

周夏 ;

诸星辰 .

中国专利 :CN223543600U ,2025-11-14

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