喷头组件及等离子处理组件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410666807.2

申请日：

2024-05-27

公开(公告)号：

CN121034932A

公开(公告)日：

2025-11-28

发明(设计)人：

武永顶陈斌陈春强

申请人：

新加坡伏遥科技有限公司

申请人地址：

新加坡贝恩路8号特里维克斯商业中心04-04号

IPC主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

H01M4/139 H01M50/609

代理机构：

北京瀚仁知识产权代理事务所(普通合伙) 11482

代理人：

王丽

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-28	公开	公开
2025-12-16	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/32申请日:20240527

共 50 条

[1]

用于等离子处理腔的喷头组件 [P].

K·S·洛 ;

十岛正人 ;

W·T·布洛尼甘 ;

L·卡恩 ;

R·K·F·洛 .

中国专利 :CN102051600B ,2011-05-11

[2]

喷头组件和包括该喷头组件的等离子体处理设备 [P].

金星渊 ;

金镐翼 .

韩国专利 :CN120089580A ,2025-06-03

[3]

用于等离子体处理室的内部组件及气体喷头组件 [P].

徐朝阳 ;

吴狄 ;

荒见淳一 ;

倪图强 .

中国专利 :CN201503845U ,2010-06-09

[4]

多喷头等离子表面处理设备 [P].

岳锡俊 ;

雷鸿 ;

陶忠元 .

中国专利 :CN114411086A ,2022-04-29

[5]

等离子喷头及等离子表面处理设备 [P].

赵芝强 .

中国专利 :CN209330445U ,2019-08-30

[6]

等离子处理设备及电芯生产工艺 [P].

武永顶 ;

陈斌 ;

陈春强 .

:CN121035553A ,2025-11-28

[7]

一种用于等离子处理腔室的石英组件及等离子体处理设备 [P].

姚国峰 ;

贺小明 .

中国专利 :CN103964686B ,2014-08-06

[8]

等离子废气处理组件及半导体废气处理设备 [P].

李阳 .

中国专利 :CN220878314U ,2024-05-03

[9]

喷头组件及衣物处理设备 [P].

杨宇 ;

王悦 ;

刘梦瑜 ;

刘振鹏 ;

徐静 .

中国专利 :CN221071959U ,2024-06-04

[10]

基座、等离子处理设备及等离子处理方法 [P].

深泽孝之 .

中国专利 :CN120108998A ,2025-06-06

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