一种半导体晶圆减薄用胶带及其制备工艺

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专利类型
发明
申请号
CN202511604047.3
申请日
2025-11-05
公开(公告)号
CN121045980A
公开(公告)日
2025-12-02
发明(设计)人
瞿清 唐浩成
申请人
太仓迪科力科技有限公司
申请人地址
215400 江苏省苏州市太仓市经济开发区广州东路288号
IPC主分类号
C09J7/30
IPC分类号
C09J7/24 C09J133/08 C09J11/04 C08F220/18 C08F220/14 C08F220/20 C08F220/32 H01L21/304
代理机构
北京中佳信联知识产权代理有限公司 16122
代理人
庞永辉
法律状态
公开
国省代码
河北省 衡水市
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共 50 条
[11]
一种半导体晶圆高效精度减薄方法 [P]. 
周诗健 ;
王海勇 .
中国专利 :CN107749391A ,2018-03-02
[12]
一种便于更换砂轮的半导体晶圆减薄装置 [P]. 
李雷 .
中国专利 :CN223186202U ,2025-08-05
[13]
一种用于半导体晶圆减薄工艺的除蜡方法 [P]. 
朱世兴 ;
耿振华 ;
程常占 .
中国专利 :CN102779730A ,2012-11-14
[14]
一种用于半导体晶圆减薄工艺的除蜡方法 [P]. 
周诗健 ;
窦璨 .
中国专利 :CN107742602A ,2018-02-27
[15]
半导体晶圆减薄系统和相关方法 [P]. 
M·J·塞登 ;
T·内耶 .
中国专利 :CN110391137A ,2019-10-29
[16]
一种带有粉尘处理功能的半导体晶圆减薄装置 [P]. 
葛光华 ;
吴浩栋 ;
曾兰英 ;
罗江萍 ;
刘磊 .
中国专利 :CN114664687B ,2024-10-22
[17]
一种带有粉尘处理功能的半导体晶圆减薄装置 [P]. 
葛光华 ;
吴浩栋 ;
曾兰英 ;
罗江萍 ;
刘磊 .
中国专利 :CN114664687A ,2022-06-24
[18]
一种半导体晶圆高效纳米精度减薄方法 [P]. 
张振宇 ;
张献忠 ;
徐朝阁 ;
郭东明 .
中国专利 :CN102407483A ,2012-04-11
[19]
一种半导体晶圆减薄研磨用贴膜机 [P]. 
张健 .
中国专利 :CN216860607U ,2022-07-01
[20]
一种半导体晶圆减薄研磨用贴膜机 [P]. 
吴浩栋 .
中国专利 :CN222591884U ,2025-03-11