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一种半导体晶圆减薄用胶带及其制备工艺
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202511604047.3
申请日
:
2025-11-05
公开(公告)号
:
CN121045980A
公开(公告)日
:
2025-12-02
发明(设计)人
:
瞿清
唐浩成
申请人
:
太仓迪科力科技有限公司
申请人地址
:
215400 江苏省苏州市太仓市经济开发区广州东路288号
IPC主分类号
:
C09J7/30
IPC分类号
:
C09J7/24
C09J133/08
C09J11/04
C08F220/18
C08F220/14
C08F220/20
C08F220/32
H01L21/304
代理机构
:
北京中佳信联知识产权代理有限公司 16122
代理人
:
庞永辉
法律状态
:
公开
国省代码
:
河北省 衡水市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-12-02
公开
公开
2025-12-19
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):C09J 7/30申请日:20251105
共 50 条
[11]
一种半导体晶圆高效精度减薄方法
[P].
周诗健
论文数:
0
引用数:
0
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0
周诗健
;
王海勇
论文数:
0
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0
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王海勇
.
中国专利
:CN107749391A
,2018-03-02
[12]
一种便于更换砂轮的半导体晶圆减薄装置
[P].
李雷
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
重庆净锋半导体有限公司
重庆净锋半导体有限公司
李雷
.
中国专利
:CN223186202U
,2025-08-05
[13]
一种用于半导体晶圆减薄工艺的除蜡方法
[P].
朱世兴
论文数:
0
引用数:
0
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0
朱世兴
;
耿振华
论文数:
0
引用数:
0
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0
耿振华
;
程常占
论文数:
0
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0
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0
程常占
.
中国专利
:CN102779730A
,2012-11-14
[14]
一种用于半导体晶圆减薄工艺的除蜡方法
[P].
周诗健
论文数:
0
引用数:
0
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0
周诗健
;
窦璨
论文数:
0
引用数:
0
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0
窦璨
.
中国专利
:CN107742602A
,2018-02-27
[15]
半导体晶圆减薄系统和相关方法
[P].
M·J·塞登
论文数:
0
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0
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0
M·J·塞登
;
T·内耶
论文数:
0
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0
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0
T·内耶
.
中国专利
:CN110391137A
,2019-10-29
[16]
一种带有粉尘处理功能的半导体晶圆减薄装置
[P].
葛光华
论文数:
0
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0
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0
机构:
无锡市芯通电子科技有限公司
无锡市芯通电子科技有限公司
葛光华
;
吴浩栋
论文数:
0
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机构:
无锡市芯通电子科技有限公司
无锡市芯通电子科技有限公司
吴浩栋
;
曾兰英
论文数:
0
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机构:
无锡市芯通电子科技有限公司
无锡市芯通电子科技有限公司
曾兰英
;
罗江萍
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0
机构:
无锡市芯通电子科技有限公司
无锡市芯通电子科技有限公司
罗江萍
;
刘磊
论文数:
0
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0
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0
机构:
无锡市芯通电子科技有限公司
无锡市芯通电子科技有限公司
刘磊
.
中国专利
:CN114664687B
,2024-10-22
[17]
一种带有粉尘处理功能的半导体晶圆减薄装置
[P].
葛光华
论文数:
0
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葛光华
;
吴浩栋
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吴浩栋
;
曾兰英
论文数:
0
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0
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曾兰英
;
罗江萍
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罗江萍
;
刘磊
论文数:
0
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0
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刘磊
.
中国专利
:CN114664687A
,2022-06-24
[18]
一种半导体晶圆高效纳米精度减薄方法
[P].
张振宇
论文数:
0
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0
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张振宇
;
张献忠
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0
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张献忠
;
徐朝阁
论文数:
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0
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徐朝阁
;
郭东明
论文数:
0
引用数:
0
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0
郭东明
.
中国专利
:CN102407483A
,2012-04-11
[19]
一种半导体晶圆减薄研磨用贴膜机
[P].
张健
论文数:
0
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0
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0
张健
.
中国专利
:CN216860607U
,2022-07-01
[20]
一种半导体晶圆减薄研磨用贴膜机
[P].
吴浩栋
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
无锡市芯通电子科技有限公司
无锡市芯通电子科技有限公司
吴浩栋
.
中国专利
:CN222591884U
,2025-03-11
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