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一种面向MEMS热式传感器的气体流量自适应补偿方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511356280.4
申请日：
2025-09-22
公开(公告)号：
CN121113235A
公开(公告)日：
2025-12-12
发明(设计)人：
董胜龙 张金龙 段所行 张永杰
申请人：
衢州祎智量芯电子科技有限公司
申请人地址：
324000 浙江省衢州市柯城区白云街道智慧大道333号3幢C1座102-43室（自主申报）
IPC主分类号：
G01F25/10
IPC分类号：
G01F1/684
代理机构：
南京苏博知识产权代理事务所(普通合伙) 32411
代理人：
赖忠辉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-12-12 公开 公开
2025-12-30 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01F 25/10申请日:20250922
共 50 条
[41]
一种热式气体流量传感器及其制备方法 [P]. 
王家畴 ;
薛丹 ;
李昕欣 .
中国专利 :CN107345826A ,2017-11-14
[42]
一种双MEMS热式气体流量传感器、测量装置和系统 [P]. 
刘国鑫 ;
陈涛 ;
印青 ;
张光华 .
中国专利 :CN221464690U ,2024-08-02
[43]
一种湿润环境下自适应补偿的Au@ZnO TVOCs传感器 [P]. 
金涵 ;
周源 ;
崔大祥 ;
薛翠丽 ;
张禹娜 .
中国专利 :CN216792024U ,2022-06-21
[44]
一种基于MEMS热线式技术的气体流量传感器 [P]. 
胡华才 ;
李良 .
中国专利 :CN212513174U ,2021-02-09
[45]
一种湿润环境下自适应补偿的Au@ZnO TVOCs传感器 [P]. 
金涵 ;
周源 ;
崔大祥 ;
薛翠丽 ;
张禹娜 .
中国专利 :CN113376151A ,2021-09-10
[46]
一种适于热式流量传感器的气体流量标定系统 [P]. 
陈旭生 ;
刘同庆 .
中国专利 :CN117553884A ,2024-02-13
[47]
一种热式气体质量流量传感器 [P]. 
张申安 ;
张鹄 .
中国专利 :CN203414125U ,2014-01-29
[48]
一种适于热式流量传感器的气体流量标定系统 [P]. 
陈旭生 ;
刘同庆 .
中国专利 :CN117553884B ,2024-03-22
[49]
一种基于MEMS气体流量传感器的流量检测模块 [P]. 
胡华才 ;
李良 .
中国专利 :CN212513175U ,2021-02-09
[50]
基于光纤光栅的热式流量传感器的燃气流量计量方法 [P]. 
吕国辉 ;
宋喆男 .
中国专利 :CN105157769A ,2015-12-16
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