一种圆晶退火激光加工设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202422932040.1
申请日
2024-11-29
公开(公告)号
CN223665413U
公开(公告)日
2025-12-12
发明(设计)人
蔡有汉 胡震 曾新华
申请人
深圳市汉越智能有限公司
申请人地址
518000 广东省深圳市宝安区福永街道白石厦社区东区龙王庙工业区88栋1号楼101
IPC主分类号
H01L21/67
IPC分类号
G02B27/10 G02B27/09 B25H1/00 H01L21/268
代理机构
代理人
法律状态
授权
国省代码
广东省 深圳市
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共 50 条
[1]
一种晶圆激光加工设备 [P]. 
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN222403958U ,2025-01-28
[2]
一种激光加工设备及晶圆加工系统 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN115365674A ,2022-11-22
[3]
一种激光加工晶圆的方法和激光加工设备 [P]. 
王新亚 ;
赵彤宇 ;
王超 ;
曹宗帆 ;
侯鹤超 ;
郑海全 ;
胡洋洋 .
中国专利 :CN121132026A ,2025-12-16
[4]
一种退火后硅片激光加工设备 [P]. 
陆仲明 ;
肖斌 ;
徐文州 ;
于元元 ;
万义茂 ;
云飞 .
中国专利 :CN223394535U ,2025-09-30
[5]
一种高精度晶圆参考边加工设备 [P]. 
洪庆福 ;
韩东 .
中国专利 :CN221313621U ,2024-07-12
[6]
一种晶圆加工设备 [P]. 
吴明锋 .
中国专利 :CN208706592U ,2019-04-05
[7]
晶圆承载机构及激光加工设备 [P]. 
肖高宇 ;
兰浩 .
中国专利 :CN223235375U ,2025-08-19
[8]
晶圆加工设备 [P]. 
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN221849586U ,2024-10-18
[9]
一种激光加工设备及晶圆生产线 [P]. 
左国军 ;
周志豪 ;
郦俐 ;
王强 .
中国专利 :CN220761339U ,2024-04-12
[10]
一种硅晶圆激光加工设备托盘结构 [P]. 
黄珑诚 .
中国专利 :CN222078346U ,2024-11-29