一种高精度晶圆参考边加工设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323149534.4

申请日：

2023-11-22

公开(公告)号：

CN221313621U

公开(公告)日：

2024-07-12

发明(设计)人：

洪庆福韩东

申请人：

北京通美晶体技术股份有限公司

申请人地址：

101149 北京市通州区工业开发区东二街4号

IPC主分类号：

B24B9/06

IPC分类号：

B24B41/06 B24B47/22 B24B41/02 B24B41/00

代理机构：

北京睿智保诚专利代理事务所(普通合伙) 11732

代理人：

龙涛

法律状态：

授权

国省代码：

河北省石家庄市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-12	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆的高精度角度调整机构 [P].

洪庆福 ;

韩东 .

中国专利 :CN221135498U ,2024-06-14

[2]

一种圆晶退火激光加工设备 [P].

蔡有汉 ;

胡震 ;

曾新华 .

中国专利 :CN223665413U ,2025-12-12

[3]

晶圆修边装置及晶圆加工设备 [P].

刘远航 ;

请求不公布姓名 ;

鲍伟成 ;

赵德文 ;

路新春 .

中国专利 :CN121062043A ,2025-12-05

[4]

一种晶圆加工设备 [P].

庭玉超 ;

于光明 ;

孙志超 ;

王强 ;

刘百川 .

中国专利 :CN218182183U ,2022-12-30

[5]

一种晶圆加工设备 [P].

吴明锋 .

中国专利 :CN208706592U ,2019-04-05

[6]

一种晶圆加工设备 [P].

张鹏飞 ;

周智鹏 ;

高玉欢 .

中国专利 :CN222896679U ,2025-05-23

[7]

一种晶圆加工设备 [P].

周智鹏 ;

张鹏飞 ;

高玉欢 .

中国专利 :CN223023220U ,2025-06-24

[8]

一种晶圆加工设备 [P].

崔建华 .

中国专利 :CN218241806U ,2023-01-06

[9]

晶圆加工设备 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221596392U ,2024-08-23

[10]

晶圆加工设备 [P].

柴雪 ;

李晶 ;

野沢俊久 .

中国专利 :CN216902795U ,2022-07-05

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