一种中频溅射电源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511303971.8

申请日：

2025-09-12

公开(公告)号：

CN121173113A

公开(公告)日：

2025-12-19

发明(设计)人：

卢卫国刘扬

申请人：

江苏东方四通科技股份有限公司

申请人地址：

215600 江苏省苏州市张家港市经济开发区南区

IPC主分类号：

H02M7/04

IPC分类号：

H02M3/335 H02M1/00 C23C14/35

代理机构：

南京天华专利代理有限责任公司 32218

代理人：

张磊

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-19	公开	公开

共 50 条

[1]

溅射电源 [P].

唐浩 ;

顾琪伟 ;

郭春辉 ;

杨鎏 ;

严振霄 .

中国专利 :CN308758761S ,2024-07-30

[2]

一种溅射电源 [P].

廖晓斌 ;

盛建科 ;

刘湘 ;

罗万里 ;

詹柏青 .

中国专利 :CN217486375U ,2022-09-23

[3]

一种大功率中频溅射电源 [P].

李红泽 ;

窦久存 .

中国专利 :CN204529967U ,2015-08-05

[4]

溅射电源单元 [P].

栗山昇 ;

今川和彦 .

中国专利 :CN1559103A ,2004-12-29

[5]

一种脉冲溅射电源 [P].

窦久存 .

中国专利 :CN204442197U ,2015-07-01

[6]

一种脉冲溅射电源 [P].

李红泽 ;

窦久存 .

中国专利 :CN104753386A ,2015-07-01

[7]

直流磁控溅射电源 [P].

许镜明 ;

余明心 ;

甘国工 .

中国专利 :CN2239438Y ,1996-11-06

[8]

直流磁控溅射电源 [P].

张功智 ;

李娟 .

中国专利 :CN216313641U ,2022-04-15

[9]

放电电源、溅射电源、以及溅射装置 [P].

栗山升 ;

今川和彦 .

中国专利 :CN100496182C ,2005-09-14

[10]

一种直流磁控溅射电源 [P].

吴晓军 .

中国专利 :CN214736058U ,2021-11-16

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