一种脉冲溅射电源

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520155011.7

申请日：

2015-03-19

公开(公告)号：

CN204442197U

公开(公告)日：

2015-07-01

发明(设计)人：

窦久存

申请人：

申请人地址：

064202 河北省唐山市遵化市新店子镇马店子村西

IPC主分类号：

H02M906

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-01	授权	授权

共 50 条

[1]

一种脉冲溅射电源 [P].

李红泽 ;

窦久存 .

中国专利 :CN104753386A ,2015-07-01

[2]

一种溅射电源 [P].

廖晓斌 ;

盛建科 ;

刘湘 ;

罗万里 ;

詹柏青 .

中国专利 :CN217486375U ,2022-09-23

[3]

一种直流磁控溅射电源 [P].

冯建军 .

中国专利 :CN204517669U ,2015-07-29

[4]

高功率脉冲磁控溅射电源 [P].

窦久存 .

中国专利 :CN204442196U ,2015-07-01

[5]

一种大功率溅射电源 [P].

廖晓斌 ;

盛建科 ;

刘湘 ;

罗万里 ;

詹柏青 .

中国专利 :CN114337302A ,2022-04-12

[6]

一种LCC谐振型磁控溅射电源 [P].

肖华根 ;

颜朝阳 ;

颜湘晋 ;

刘仙萍 .

中国专利 :CN117118252B ,2024-01-16

[7]

溅射电源 [P].

唐浩 ;

顾琪伟 ;

郭春辉 ;

杨鎏 ;

严振霄 .

中国专利 :CN308758761S ,2024-07-30

[8]

直流磁控溅射电源 [P].

许镜明 ;

余明心 ;

甘国工 .

中国专利 :CN2239438Y ,1996-11-06

[9]

全数字高功率单极脉冲磁控溅射电源 [P].

魏殿忠 ;

魏智博 .

中国专利 :CN203096159U ,2013-07-31

[10]

脉冲磁控溅射电源 [P].

李立升 ;

杨恺 ;

林海天 .

中国专利 :CN118249614A ,2024-06-25

← 1 2 3 4 5 →