一种大功率溅射电源

被引：0

申请号：

CN202111666013.9

申请日：

2021-12-30

公开(公告)号：

CN114337302A

公开(公告)日：

2022-04-12

发明(设计)人：

廖晓斌盛建科刘湘罗万里詹柏青

申请人：

申请人地址：

523899 广东省东莞市虎门镇白沙三村工业区

IPC主分类号：

H02M3335

IPC分类号：

H02M100 H02M132

代理机构：

东莞创博知识产权代理事务所(普通合伙) 44803

代理人：

陈柏陶

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H02M 3/335 申请日:20211230
2022-04-12	公开	公开

共 50 条

[1]

一种溅射电源 [P].

廖晓斌 ;

盛建科 ;

刘湘 ;

罗万里 ;

詹柏青 .

中国专利 :CN217486375U ,2022-09-23

[2]

一种大功率中频溅射电源 [P].

李红泽 ;

窦久存 .

中国专利 :CN204529967U ,2015-08-05

[3]

一种脉冲溅射电源 [P].

窦久存 .

中国专利 :CN204442197U ,2015-07-01

[4]

一种脉冲溅射电源 [P].

李红泽 ;

窦久存 .

中国专利 :CN104753386A ,2015-07-01

[5]

一种直流磁控溅射电源 [P].

冯建军 .

中国专利 :CN204517669U ,2015-07-29

[6]

一种LCC谐振型磁控溅射电源 [P].

肖华根 ;

颜朝阳 ;

颜湘晋 ;

刘仙萍 .

中国专利 :CN117118252B ,2024-01-16

[7]

溅射电源 [P].

唐浩 ;

顾琪伟 ;

郭春辉 ;

杨鎏 ;

严振霄 .

中国专利 :CN308758761S ,2024-07-30

[8]

全数字高功率单极脉冲磁控溅射电源 [P].

魏殿忠 ;

魏智博 .

中国专利 :CN203096159U ,2013-07-31

[9]

一种闭环控制的高功率脉冲磁控溅射电源模组 [P].

范鹏 ;

田修波 ;

欧科军 .

中国专利 :CN214544136U ,2021-10-29

[10]

直流磁控溅射电源 [P].

许镜明 ;

余明心 ;

甘国工 .

中国专利 :CN2239438Y ,1996-11-06

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