一种闭环控制的高功率脉冲磁控溅射电源模组

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202023078433.9

申请日：

2020-12-20

公开(公告)号：

CN214544136U

公开(公告)日：

2021-10-29

发明(设计)人：

范鹏田修波欧科军

申请人：

申请人地址：

523000 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋

IPC主分类号：

H02M704

IPC分类号：

H02M906 H02M3335 H02M3157 C23C1435

代理机构：

深圳市千纳专利代理有限公司 44218

代理人：

陈培琼

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-29	授权	授权

共 50 条

[1]

高功率脉冲磁控溅射电源 [P].

窦久存 .

中国专利 :CN204442196U ,2015-07-01

[2]

一种直流磁控溅射电源 [P].

冯建军 .

中国专利 :CN204517669U ,2015-07-29

[3]

全数字高功率单极脉冲磁控溅射电源 [P].

魏殿忠 ;

魏智博 .

中国专利 :CN203096159U ,2013-07-31

[4]

一种高功率脉冲磁控溅射电源及其薄膜制备装置 [P].

窦久存 ;

赵文军 .

中国专利 :CN221177675U ,2024-06-18

[5]

一种脉冲溅射电源 [P].

窦久存 .

中国专利 :CN204442197U ,2015-07-01

[6]

一种脉冲溅射电源 [P].

李红泽 ;

窦久存 .

中国专利 :CN104753386A ,2015-07-01

[7]

一种LCC谐振型磁控溅射电源 [P].

肖华根 ;

颜朝阳 ;

颜湘晋 ;

刘仙萍 .

中国专利 :CN117118252B ,2024-01-16

[8]

一种溅射电源 [P].

廖晓斌 ;

盛建科 ;

刘湘 ;

罗万里 ;

詹柏青 .

中国专利 :CN217486375U ,2022-09-23

[9]

采用串联辅助电源的高功率脉冲磁控溅射电源及其方法 [P].

窦久存 ;

赵文军 .

中国专利 :CN117614309B ,2024-09-13

[10]

一种CrSiCN膜用高功率单极脉冲磁控溅射电源 [P].

蔡俊信 .

中国专利 :CN211005590U ,2020-07-14

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