高功率脉冲磁控溅射电源

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520154993.8

申请日：

2015-03-19

公开(公告)号：

CN204442196U

公开(公告)日：

2015-07-01

发明(设计)人：

窦久存

申请人：

申请人地址：

064202 河北省唐山市遵化市新店子镇马店子村西

IPC主分类号：

H02M904

IPC分类号：

C23C1435

代理机构：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-01	授权	授权

共 50 条

[1]

全数字高功率单极脉冲磁控溅射电源 [P].

魏殿忠 ;

魏智博 .

中国专利 :CN203096159U ,2013-07-31

[2]

直流磁控溅射电源 [P].

许镜明 ;

余明心 ;

甘国工 .

中国专利 :CN2239438Y ,1996-11-06

[3]

采用串联辅助电源的高功率脉冲磁控溅射电源及其方法 [P].

窦久存 ;

赵文军 .

中国专利 :CN117614309B ,2024-09-13

[4]

采用串联辅助电源的高功率脉冲磁控溅射电源及其方法 [P].

窦久存 ;

赵文军 .

中国专利 :CN117614309A ,2024-02-27

[5]

一种脉冲溅射电源 [P].

窦久存 .

中国专利 :CN204442197U ,2015-07-01

[6]

直流磁控溅射电源 [P].

张功智 ;

李娟 .

中国专利 :CN216313641U ,2022-04-15

[7]

一种高功率脉冲磁控溅射电源及其薄膜制备装置 [P].

窦久存 ;

赵文军 .

中国专利 :CN221177675U ,2024-06-18

[8]

一种闭环控制的高功率脉冲磁控溅射电源模组 [P].

范鹏 ;

田修波 ;

欧科军 .

中国专利 :CN214544136U ,2021-10-29

[9]

一种CrSiCN膜用高功率单极脉冲磁控溅射电源 [P].

蔡俊信 .

中国专利 :CN211005590U ,2020-07-14

[10]

散热型磁控溅射电源箱 [P].

缪伟清 ;

黄真真 ;

顾国龙 ;

王健 ;

沈洁 .

中国专利 :CN221240672U ,2024-06-28

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