采用串联辅助电源的高功率脉冲磁控溅射电源及其方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311651507.9

申请日：

2023-12-05

公开(公告)号：

CN117614309A

公开(公告)日：

2024-02-27

发明(设计)人：

窦久存赵文军

申请人：

唐山标先电子有限公司

申请人地址：

064202 河北省唐山市遵化市新店子镇马店子村西

IPC主分类号：

H02M9/04

IPC分类号：

C23C14/35 C23C14/54 C23C14/56

代理机构：

北京君有知识产权代理事务所(普通合伙) 11630

代理人：

潘丹

法律状态：

公开

国省代码：

河北省唐山市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-27	公开	公开
2024-09-13	授权	授权
2024-03-15	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H02M 9/04申请日:20231205

共 50 条

[1]

采用串联辅助电源的高功率脉冲磁控溅射电源及其方法 [P].

窦久存 ;

赵文军 .

中国专利 :CN117614309B ,2024-09-13

[2]

一种高功率脉冲磁控溅射电源及其薄膜制备装置 [P].

窦久存 ;

赵文军 .

中国专利 :CN221177675U ,2024-06-18

[3]

高功率脉冲磁控溅射电源 [P].

窦久存 .

中国专利 :CN204442196U ,2015-07-01

[4]

全数字高功率单极脉冲磁控溅射电源 [P].

魏殿忠 ;

魏智博 .

中国专利 :CN203096159U ,2013-07-31

[5]

直流磁控溅射电源 [P].

许镜明 ;

余明心 ;

甘国工 .

中国专利 :CN2239438Y ,1996-11-06

[6]

直流磁控溅射电源 [P].

张功智 ;

李娟 .

中国专利 :CN216313641U ,2022-04-15

[7]

一种CrSiCN膜用高功率单极脉冲磁控溅射电源 [P].

蔡俊信 .

中国专利 :CN211005590U ,2020-07-14

[8]

一种闭环控制的高功率脉冲磁控溅射电源模组 [P].

范鹏 ;

田修波 ;

欧科军 .

中国专利 :CN214544136U ,2021-10-29

[9]

散热型磁控溅射电源箱 [P].

缪伟清 ;

黄真真 ;

顾国龙 ;

王健 ;

沈洁 .

中国专利 :CN221240672U ,2024-06-28

[10]

双冷型磁控溅射电源 [P].

任锋 ;

陈星庆 ;

任浩鑫 ;

司国斌 ;

陈嵩 .

中国专利 :CN221447827U ,2024-07-30

← 1 2 3 4 5 →