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全数字高功率单极脉冲磁控溅射电源
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201220111912.2
申请日：
2012-03-16
公开(公告)号：
CN203096159U
公开(公告)日：
2013-07-31
发明(设计)人：
魏殿忠
魏智博
申请人：
申请人地址：
730010 甘肃省兰州市城关区雁西路1376号雁滩工业城北5区10栋
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-04-01 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20120316 授权公告日:20130731 |
| 2013-07-31 | 授权 | 授权 |