THE USE OF TITANIUM-BASED CONTACT BARRIER LAYERS IN SILICON TECHNOLOGY

被引:172
作者
TING, CY
WITTMER, M
机构
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(82)90516-8
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页码:327 / 345
页数:19
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