ELECTRONIC AND OPTICAL-PROPERTIES OF AMORPHOUS SI-H FILMS DEPOSITED BY CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

被引:30
作者
AKHTAR, M
DALAL, VL
RAMAPRASAD, KR
GAU, S
CAMBRIDGE, JA
机构
关键词
D O I
10.1063/1.93414
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:1146 / 1148
页数:3
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