ION-BEAM APPLICATIONS FOR PRECISION INFRARED OPTICS

被引:11
作者
MCNEIL, JR [1 ]
HERRMANN, WC [1 ]
机构
[1] OPT ELECTR CORP,DALLAS,TX 75243
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1982年 / 20卷 / 03期
关键词
D O I
10.1116/1.571293
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:324 / 326
页数:3
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