DEPOSITION OF THIN REFRACTORY MIS STRUCTURES ON INP

被引：4

作者：

CHRISTOU, A

ANDERSON, WT

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1007/BF02652938

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：585 / 600

页数：16

共 16 条

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