INFLUENCES OF SURFACE-TOPOGRAPHY AND ANGLE OF ADATOM INCIDENCE ON GROWTH-STRUCTURE IN SPUTTERED CHROMIUM

被引:42
作者
PATTEN, JW
机构
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(79)90112-3
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
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