PROPERTIES OF PLASMA-GROWN SIO2 FILMS

被引：12

作者：

SKELT, ER

HOWELLS, GM

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0039-6028(67)90038-6

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：490 / &

共 4 条

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