ION-BEAM SPUTTER DEPOSITION OF LOW-LOSS AL2O3 FILMS FOR INTEGRATED-OPTICS

被引：13

作者：

ARNOLD, SM ^{[1
]}

COLE, BE ^{[1
]}

机构：

[1] HONEYWELL,CTR PHYS SCI,MINNEAPOLIS,MN 55420

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(88)90673-6

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：1 / 9

页数：9

共 6 条

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