MICROPLASMAS IN SILICON

被引：102

作者：

ROSE, DJ

机构：

来源：

PHYSICAL REVIEW | 1957年 / 105卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1103/PhysRev.105.413

中图分类号：

O4 [物理学];

学科分类号：

0702 ;

摘要：

引用

页码：413 / 418

页数：6

共 10 条

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