PROCESS-INTRODUCED STRUCTURAL DEFECTS AND JUNCTION CHARACTERISTICS IN NPN SILICON EPITAXIAL PLANAR TRANSISTORS

被引:21
作者
JUNGBLUT.ED
WANG, P
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1714384
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:1967 / &
相关论文
共 17 条