THERMALLY-INDUCED DEFECTS IN SILICON CONTAINING OXYGEN AND CARBON

被引:81
作者
MINAEV, NS
MUDRYI, AV
机构
来源
PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1981年 / 68卷 / 02期
关键词
D O I
10.1002/pssa.2210680227
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页码:561 / 566
页数:6
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