EFFECT OF OXYGEN ON THE DIFFUSION OF NI IN PT IN PT-NI-PT FILMS

被引：14

作者：

CHANG, CA ^{[1
]}

CHU, WK ^{[1
]}

机构：

[1] IBM CORP,E FISHKILL FACIL,HOPEWELL JUNCTION,NY 12533

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.328428

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：512 / 514

页数：3

共 4 条

[1]

BARCZ A, 1976, ION BEAM SURFACE LAY, P407

[2] AMBIENT EFFECTS ON THE DIFFUSION OF CR AND SI IN THIN PT FILMS [J].

CHANG, CA ;

CHU, WK .

CHANG, CA .

CHANG, CA ;

CHOU, NJ .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1980, 17 (06) :1358-1359