AMBIENT EFFECTS ON THE DIFFUSION OF CR AND SI IN THIN PT FILMS

被引:28
作者
CHANG, CA [1 ]
CHU, WK [1 ]
机构
[1] IBM CORP,E FISHKILL FACIL,HOPEWELL JUNCTION,NY 12533
关键词
D O I
10.1063/1.91808
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页数:2
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