MICROFABRICATED STRUCTURES FOR THE INSITU MEASUREMENT OF RESIDUAL-STRESS, YOUNGS MODULUS, AND ULTIMATE STRAIN OF THIN-FILMS

被引：181

作者：

ALLEN, MG

MEHREGANY, M

HOWE, RT

SENTURIA, SD

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.98460

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：241 / 243

页数：3

共 17 条

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