ION-BEAM MODIFICATION OF TIN FILMS DURING VAPOR-DEPOSITION

被引:53
作者
KANT, RA
SARTWELL, BD
机构
来源
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING | 1987年 / 90卷
关键词
D O I
10.1016/0025-5416(87)90233-3
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页码:357 / 365
页数:9
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