PB(ZR.TI)O3 FILMS BY RF SPUTTERING IN PBO VAPOR

被引：17

作者：

SHINTANI, Y

SATO, K

SAKAMOTO, M

FUKUDA, H

TADA, O

机构：

[1] TOKUSHIMA UNIV,FAC EDUC,TOKUSHIMA 770,JAPAN

[2] TOKUSHIMA UNIV,FAC ENGN,TOKUSHIMA 770,JAPAN

来源：

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.17.573

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：573 / 574

页数：2

共 4 条

ISHIDA, M ;

MATSUNAMI, H ;

TANAKA, T .

[2] PREPARATION OF PLZT THIN-FILMS BY RF SPUTTERING [J].

MATSUNAMI, H ;

SUZUKI, M ;

ISHIDA, M ;

TANAKA, T .

OIKAWA, M ;

TODA, K .

[4] FERROELECTRIC PLZT THIN-FILMS FABRICATED BY RF SPUTTERING [J].

TANAKA, K ;

HIGUMA, Y ;

YOKOYAMA, K ;

NAKAGAWA, T ;

HAMAKAWA, Y .