共 4 条
PB(ZR.TI)O3 FILMS BY RF SPUTTERING IN PBO VAPOR
被引:17
作者:
SHINTANI, Y
SATO, K
SAKAMOTO, M
FUKUDA, H
TADA, O
机构:
[1] TOKUSHIMA UNIV,FAC EDUC,TOKUSHIMA 770,JAPAN
[2] TOKUSHIMA UNIV,FAC ENGN,TOKUSHIMA 770,JAPAN
关键词:
D O I:
10.1143/JJAP.17.573
中图分类号:
O59 [应用物理学];
学科分类号:
摘要:
引用
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页码:573 / 574
页数:2
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