OPTIMIZATION OF ELECTRON-PROBE FORMING SYSTEMS WITH RESPECT TO ABERRATIONS AND VERTICAL BEAM LANDING

被引:10
作者
KERN, DP
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1979年 / 16卷 / 06期
关键词
D O I
10.1116/1.570273
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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页码:1686 / 1691
页数:6
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