OPTICAL CHARACTERIZATION OF LOW-INDEX TRANSPARENT THIN-FILMS ON TRANSPARENT SUBSTRATES BY SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY

被引:18
作者
GUSTIN, KM
机构
来源
APPLIED OPTICS | 1987年 / 26卷 / 18期
关键词
D O I
10.1364/AO.26.003796
中图分类号
O43 [光学];
学科分类号
070207 ; 0803 ;
摘要
引用
收藏
页码:3796 / 3802
页数:7
相关论文
共 21 条