EFFECTS OF CRYSTALLOGRAPHIC ORIENTATION ON MOBILITY SURFACE STATE DENSITY AND NOISE IN P-TYPE INVERSION LAYERS ON OXIDIZED SILICON SURFACES

被引:110
作者
SATO, T
TAKEISHI, Y
HARA, H
机构
关键词
D O I
10.1143/JJAP.8.588
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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