HIGH-RESOLUTION PATTERN DEFINITION IN TUNGSTEN

被引：37

作者：

RANDALL, JN

WOLFE, JC

机构：

来源：

APPLIED PHYSICS LETTERS | 1981年 / 39卷 / 09期

关键词：

D O I：

10.1063/1.92876

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：742 / 743

页数：2

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