SOME ELLIPSOMETRIC MEASUREMENTS OF OXIDE FILMS ON COPPER

被引：12

作者：

BUTCHER, EC

DYER, AJ

GILBERT, NE

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1088/0022-3727/1/12/313

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1673 / &

共 7 条

[1] ELLIPSOMETRY WITH NON-IDEAL COMPENSATORS [J].

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