SIMULATION OF DOPING PROCESSES

被引:77
作者
RYSSEL, H [1 ]
HABERGER, K [1 ]
HOFFMANN, K [1 ]
PRINKE, G [1 ]
DUMCKE, R [1 ]
SACHS, A [1 ]
机构
[1] UNIV MUNICH,INST NUMER MATH,D-8000 MUNICH 22,FED REP GER
关键词
D O I
10.1109/T-ED.1980.20061
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:1484 / 1492
页数:9
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