DEEP TRAP STATES IN SI3N4 LAYER ON SI SUBSTRATE

被引:24
作者
FUJITA, S
NISHIHARA, M
HOI, WL
SASAKI, A
机构
关键词
D O I
10.1143/JJAP.20.917
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:917 / 923
页数:7
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