ALUMINUM-NICKEL SILICIDE CONTACTS ON SILICON

被引：32

作者：

HOKELEK, E

ROBINSON, GY

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(78)90026-3

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：135 / 140

页数：6

共 9 条

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