EFFECT OF INTEGRATED-CIRCUIT METALLIZATION LINEWIDTH ON THE DISTRIBUTION OF ELECTROMIGRATION LIFETIMES

被引:1
作者
DULNIAK, RJ [1 ]
机构
[1] GEC, HIRST RES CTR, WEMBLEY HA9 7PP, MIDDX, ENGLAND
关键词
D O I
10.1063/1.100724
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:1229 / 1231
页数:3
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