DEPOSITION PROFILE SIMULATION USING THE DIRECT SIMULATION MONTE-CARLO METHOD

被引：70

作者：

IKEGAWA, M

KOBAYASHI, J

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2096387

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：2982 / 2986

页数：5

共 8 条

ANTONIADIS, DA ;

DUTTON, RW .

[2]

Bird G. A., 1979, RAREFIED GAS DYN, P365

[3]

Bird GA., 1976, MOL GAS DYNAMICS

NEUREUTHER, AR ;

TING, CH ;

LIU, CY .

[5]

REDHEAD PA, 1968, PHYSICAL BASIS ULTRA

[6]

SCHMITT JPM, 1983, J NONCRYST SOLIDS, V59, P652

[7]

SZE SM, 1983, VLSI TECHNOLOGY, P78

TSAI, CC ;

KNIGHTS, JC ;

CHANG, G ;

WACKER, B .