REDUCTION OF EFFECTIVE SPUTTERING YIELD BY HONEYCOMB STRUCTURES

被引:10
作者
ABE, T
OBARA, K
NAKAMURA, H
SONE, K
OHTSUKA, H
YAMADA, R
SAIDOH, M
SHIMIZU, M
机构
关键词
D O I
10.3327/jnst.15.471
中图分类号
TL [原子能技术]; O571 [原子核物理学];
学科分类号
0827 ; 082701 ;
摘要
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页码:471 / 475
页数:5
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