PREPARATION AND PROPERTIES OF SPUTTERED MGO/AU, MGO/AG, AND MGO/NI CERMET FILMS

被引:41
作者
FAN, JCC [1 ]
HENRICH, VE [1 ]
机构
[1] MIT, LINCOLN LAB, LEXINGTON, MA 02173 USA
关键词
D O I
10.1063/1.1663854
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:3742 / 3748
页数:7
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