LASER ANNEALING OF ZINC IMPLANTED GAAS

被引：2

作者：

KULAR, SS

SEALY, BJ

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0038-1101(80)90105-7

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：875 / &

共 6 条

KULAR, SS ;

SEALY, BJ ;

STEPHENS, KG .

[2] PULSED LASER ANNEALING OF ZINC IMPLANTED GAAS [J].

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