A MODEL OF A NARROW-WIDTH MOSFET INCLUDING TAPERED OXIDE AND DOPING ENCROACHMENT

被引:30
作者
AKERS, LA [1 ]
BEGUWALA, MME [1 ]
CUSTODE, FZ [1 ]
机构
[1] ROCKWELL INT,MICROELECTR RES & DEV CTR,ANAHEIM,CA 92803
关键词
D O I
10.1109/T-ED.1981.20635
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:1490 / 1495
页数:6
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