MEASUREMENT OF THE THICKNESS OF THE SURFACE-LAYER ON AMORPHOUS-GE FILMS USING SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY - VALIDITY OF EFFECTIVE MEDIUM MODELING

被引:10
作者
MCMARR, PJ [1 ]
BLANCO, JR [1 ]
机构
[1] CALIF STATE UNIV NORTHRIDGE, DEPT PHYS & ASTRON, NORTHRIDGE, CA 91330 USA
来源
APPLIED OPTICS | 1988年 / 27卷 / 20期
关键词
D O I
10.1364/AO.27.004265
中图分类号
O43 [光学];
学科分类号
070207 ; 0803 ;
摘要
引用
收藏
页码:4265 / 4273
页数:9
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