学术探索
学术期刊
新闻热点
数据分析
智能评审
立即登录
A SHALLOW JUNCTION SUBMICROMETER PMOS PROCESS WITHOUT HIGH-TEMPERATURE ANNEALS
被引:22
作者
:
CAREY, PG
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
CAREY, PG
WEINER, KH
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
WEINER, KH
SIGMON, TW
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
SIGMON, TW
机构
:
来源
:
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS
|
1988年
/ 9卷
/ 10期
关键词
:
D O I
:
10.1109/55.17838
中图分类号
:
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
:
0808 ;
0809 ;
摘要
:
引用
收藏
页码:542 / 544
页数:3
相关论文
共 13 条
[11]
CHANNELING EFFECT OF LOW-ENERGY BORON IMPLANT IN (100) SILICON
LIU, TM
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
LIU, TM
OLDHAM, WG
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
OLDHAM, WG
[J].
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS,
1983,
4
(03)
: 59
-
62
[12]
OPTIMIZATION OF THE GERMANIUM PREAMORPHIZATION CONDITIONS FOR SHALLOW-JUNCTION FORMATION
OZTURK, MC
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
MICROELECTR CTR N CAROLINA,RES TRIANGLE PK,NC 27709
OZTURK, MC
WORTMAN, JJ
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
MICROELECTR CTR N CAROLINA,RES TRIANGLE PK,NC 27709
WORTMAN, JJ
OSBURN, CM
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
MICROELECTR CTR N CAROLINA,RES TRIANGLE PK,NC 27709
OSBURN, CM
AJMERA, A
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
MICROELECTR CTR N CAROLINA,RES TRIANGLE PK,NC 27709
AJMERA, A
ROZGONYI, GA
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
MICROELECTR CTR N CAROLINA,RES TRIANGLE PK,NC 27709
ROZGONYI, GA
FREY, E
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
MICROELECTR CTR N CAROLINA,RES TRIANGLE PK,NC 27709
FREY, E
CHU, WK
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
MICROELECTR CTR N CAROLINA,RES TRIANGLE PK,NC 27709
CHU, WK
LEE, C
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
MICROELECTR CTR N CAROLINA,RES TRIANGLE PK,NC 27709
LEE, C
[J].
IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES,
1988,
35
(05)
: 659
-
668
[13]
WEINER KH, 1988, P C LAS PROC MICR AP, V8810, P53
←
1
2
→
共 13 条
[11]
CHANNELING EFFECT OF LOW-ENERGY BORON IMPLANT IN (100) SILICON
LIU, TM
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
LIU, TM
OLDHAM, WG
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
OLDHAM, WG
[J].
IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS,
1983,
4
(03)
: 59
-
62
[12]
OPTIMIZATION OF THE GERMANIUM PREAMORPHIZATION CONDITIONS FOR SHALLOW-JUNCTION FORMATION
OZTURK, MC
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
MICROELECTR CTR N CAROLINA,RES TRIANGLE PK,NC 27709
OZTURK, MC
WORTMAN, JJ
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
MICROELECTR CTR N CAROLINA,RES TRIANGLE PK,NC 27709
WORTMAN, JJ
OSBURN, CM
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
MICROELECTR CTR N CAROLINA,RES TRIANGLE PK,NC 27709
OSBURN, CM
AJMERA, A
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
MICROELECTR CTR N CAROLINA,RES TRIANGLE PK,NC 27709
AJMERA, A
ROZGONYI, GA
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
MICROELECTR CTR N CAROLINA,RES TRIANGLE PK,NC 27709
ROZGONYI, GA
FREY, E
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
MICROELECTR CTR N CAROLINA,RES TRIANGLE PK,NC 27709
FREY, E
CHU, WK
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
MICROELECTR CTR N CAROLINA,RES TRIANGLE PK,NC 27709
CHU, WK
LEE, C
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
MICROELECTR CTR N CAROLINA,RES TRIANGLE PK,NC 27709
LEE, C
[J].
IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES,
1988,
35
(05)
: 659
-
668
[13]
WEINER KH, 1988, P C LAS PROC MICR AP, V8810, P53
←
1
2
→