EFFECT OF ROOM-TEMPERATURE AGING ON INFRARED-ABSORPTION SPECTRA OF THIN-FILMS OF SILICON OXIDE

被引：3

作者：

TIMSON, P

BEYNON, J

机构：

来源：

VACUUM | 1972年 / 22卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1016/0042-207X(72)90658-6

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：233 / &

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共 4 条

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