BACKSCATTERING ENERGY-LOSS PARAMETER MEASUREMENTS IN THIN METAL-FILMS

被引：10

作者：

LINKER, G ^{[1
]}

MEYER, O ^{[1
]}

GETTINGS, M ^{[1
]}

机构：

[1] KERN FORSCH ZENTRUM,INST ANGEWANDTE KERN PHYS,KARLSRUHE,WEST GERMANY

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(73)90053-9

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：177 / 185

页数：9

共 7 条

CROSET, M ;

RIGO, S ;

AMSEL, G .

[2]

MAYER JW, 1970, ION IMPLANTATION SEM, pCH3

MEYER, O ;

LINKER, G ;

MANN, H .

MEYER, O ;

GYULAI, J ;

MAYER, JW .

MEYER, O ;

LINKER, G ;

KRAEFT, B .

[6]

ZIEGLER JF, RC4288 IBM REPT

[7]

ZIEGLER JF, TO BE PUBLISHED