CRYSTALLIZATION OF AMORPHOUS TI-SI ALLOY THIN-FILMS - MICROSTRUCTURE AND RESISTIVITY

被引:24
作者
RAAIJMAKERS, IJMM
VANOMMEN, AH
READER, AH
机构
关键词
D O I
10.1063/1.343353
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:3896 / 3906
页数:11
相关论文
共 48 条